根(gēn)據(jù)不(bù)同(tóng)需要(yào)有(yǒu)很多(duō)制備薄膜的方(fāng)法(fǎ)。一(yī)个重(zhòng)要(yào)方(fāng)法(fǎ)是(shì)用(yòng)貴金(jīn)屬靶材以(yǐ)高温(wēn)離子束濺射的方(fāng)式産生(shēng)薄膜。过(guò)程中(zhōng)必然産生(shēng)含鉑族金(jīn)屬的廢料。據(jù)江森(sēn)，马賽(J. M. )公(gōng)司報道(dào)，2007年全球电子産業鉑靶材需求13.2 t,鉑靶材廢料含鉑5.28~6.6t。估計(jì)2007年中(zhōng)國(guó)鉑靶材廢料含鉑近(jìn)4 t,钯靶材廢料200 ~250 kg, 金(jīn)靶材廢料0.8~1 t,银(yín)靶材廢料80~1001,形成(chéng)一(yī)類(lèi)重(zhòng)要(yào)的二(èr)次(cì)資源。

靶材廢料再生(shēng)回(huí)收(shōu)技術(shù)比較簡單。單金(jīn)屬靶材廢料的再生(shēng)回(huí)收(shōu)實(shí)质是(shì)粗(cū)金(jīn)屬精煉为(wèi)純金(jīn)屬的过(guò)程。多(duō)金(jīn)屬靶材廢料的再生(shēng)回(huí)收(shōu)，涉及廢料溶解(jiě)、貴-賤金(jīn)屬分(fēn)離及貴金(jīn)屬精煉。这(zhè)些(xiē)技術(shù)问題(tí)，可(kě)根(gēn)據(jù)廢料的性(xìng)质和(hé)成(chéng)分(fēn)制定(dìng)高效合理(lǐ)的回(huí)收(shōu)工藝。